三维微型结构相关硕士博士期刊学术论文 - 搜论网

三维微型结构相关论文

利用同步辐射光刻进行三维微型结构的制作与应用

微机械、微机电系统(MEMS)的实用化对自由度大的三维加工方法提出了更高的要求.利用同步辐射(SR)X射线所具有的准直性、透过性的LI......

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MEMS 三维微型结构同步辐射光刻 LIGA工艺

MEMS技术发展的趋势

大多数专家预测MEMS技术在今后的主要发展趋势综合如下：（1）研究方向多样化：从历次大型MEMS国际会议的论文来看，MEMS技术的研究日益多样......

期刊

MEMS技术三维微型结构惯性器件微型光学器件压力传感器国际会议发展趋势加速度计数据存储

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