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位错密度测量相关论文
半导体材料异变外延穿透位错测量方法及其应用的研究
由于Ⅲ-Ⅴ族材料在光电子器件尤其是发光器件中被广泛应用,随着硅基光电集成的发展,在硅衬底上异质外延生长Ⅲ-Ⅴ族材料引起了研究......
学位
硅基Ⅲ-Ⅴ族半导体
异变外延
位错密度测量
台面线度
光电集成
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