低温原子层沉积相关论文
有机电致发光器件(Organic light emitting diode,OLED)由于具有自主发光、超薄、响应速度快、可制作成大面积等特点被认为是继液......
原子层沉积是一种基于气相前驱体与衬底表面基团间化学反应的薄膜制备技术,其前驱体交替通入的生长方式使得产物以原子级别的厚度......
