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低温表面工艺相关论文

砷化镓基毫米波MEMS开关表面工艺研究

研究了砷化镓基毫米波MEMS开关的表面工艺方法,包括MEMS开关的工艺流程中的牺牲层技术、结构层技术、触点技术、薄膜电阻技术。重......

期刊

射频微机电系统开关低温表面工艺牺牲层技术结构层技术 RF MEMS switch low temperature surface process sa

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