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低硼流量相关论文

硼掺杂金刚石薄膜的制备和性能研究

通过热丝化学气相沉积法,在硅基上沉积硼掺杂金刚石薄膜,研究硼源流量对硼掺杂金刚石薄膜的导电性能、晶粒尺寸、晶面方向及残余应......

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硼掺杂金刚石膜热丝化学气相沉积低硼流量微观结构应力 boron doped diamond filmhot filament chemical vapo

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