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侧向选择性蚀刻相关论文
电化学湿法选择性刻蚀来剥离GaN外延
GaN基LED具有亮度高,能耗小,体积薄,寿命长等特点。目前,散热问题和出光效率低限制大功率LED的发展。电化学湿法刻蚀来选择性剥离G......
学位
氮化镓
侧向选择性蚀刻
电化学剥离
不损伤量子阱
应力释放
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