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电子束蒸发倾斜沉积氧化铝薄膜结构与性质研究
航空发动机被誉为飞机的心脏,同时,也是我国航空工业研究的重点。近年来,随着以高温合金为代表的尖端材料技术和以叶片加工为代表......
学位
Al2O3
倾斜沉积技术
有效孔隙率
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