倾斜溅射沉积相关硕士博士期刊学术论文

磁控溅射作为最广泛使用的镀膜方法之一，具有样品均匀性和可重复性较好、可方便掺杂以调节薄膜成分等许多优点。另一方面，倾斜沉积法......