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偏摆式轮廓检测相关论文
基于白光干涉显微镜的偏摆式非球面轮廓测量技术研究
传统的接触式摆臂轮廓仪在测量非球面镜轮廓时扫描探针与非球面镜表面直接接触,存在划伤待测元件表面的风险且探针的直径会引入测......
学位
非球面镜
偏摆式轮廓检测
白光显微干涉
面形恢复
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