光刻快门相关论文
目前，国内控制码盘、计量光栅图案刻制的机构是快门，原有的穿孔带式快门有很多缺点，为了避免这些缺点，对液晶光阀作为快门的可行性进行......
通过分析光刻快门的控制原理及结合液晶光阀的工作原理,对液晶光阀组的控制进行了研究并给出了其控制电路图,该控制系统采用DS7545......
通过理论推导，构建了抗蚀荆的感光特性、光源的光效与曝光量之间的数学模型，为液晶光阀代替穿孔带提供了理论依据．结合液晶光阀的工作......
