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“用于声光波导相位调制的氧化锌薄膜和叉指换能器的理论和实验研究”是国家自然科学基金资助项目“光电集成加速度地震检波器的理......
学位
光电集成加速度传感器
光波导
声光调制
声表面波
相位调制
氧化锌薄膜
叉指换能器
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