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光致解吸出气相关论文
非蒸散型吸气剂对混合气体的抽气行为研究
NEG抽除混合气体的行为不同于抽单纯气体.测试了SEAS公司的NEG组件ST707WP 1250对由80%H2和20%CO组成的混合气体的抽气性能,并和抽......
期刊
非蒸散型吸气剂
混合气体
抽气性能
光致解吸出气
SSRF储存环
复合泵
Non evaporation getter
Mixed gases
Pumping
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