入射角分布相关论文
电子束与靶物质相互作用时的入射角是决定能量沉积剖面的关键参数之一.本文提出了一种基于覆盖不同厚度衰减片的微型法拉第筒阵列......
应用PIC-MCC方法模拟了氩离子等离子体源离子注入过程，考虑了离子与中性粒子的电荷交换碰撞和弹性散射，模拟了不同电压、不同气压及......
