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纳米三坐标测量机机械结构及接触式测头技术研究
超精密加工技术的高速发展,引发器件微型化革命,对相应三维检测设备的测量精度提出更高要求,三坐标测量机为传统通用性高精度测量......
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微纳米测量
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