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共振隧穿微结构相关论文
基于共振隧穿微结构的GaAs基加速度计
介绍了一种基于共振隧穿微结构的GaAs基四梁式加速度计,设计了共振隧穿微结构以及GaAs基加速度计的结构,分析了加速度计的力学特性,讨......
期刊
共振隧穿微结构
加速度计
GAAS
resonant tunneling micro-structure accelerometer GaAs
基于共振隧穿结构介观压阻效应的纳机电加速度计研究
随着分子束外延(Molecular Beam Epitaxy,MBE)和金属有机化学汽相沉积(MatelOrganic Chemical Vapor Depositiontor,MOCVD)技术以......
学位
GaAs
加速度计
共振隧穿微结构
介观压阻
纳机电器件
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