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凸角削角补偿相关论文

在EPW中采用（100）硅制作微悬臂梁凸角补偿及工艺研究

(100)硅片在EPW腐蚀液中进行各向异性腐蚀时,因在(111)侧面相交的凸角处出现一些腐蚀速率较高的晶面,使微悬臂梁凸角掩膜下的硅受......

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EPW 微悬臂梁凸角削角补偿 EPW micro-cantilever beam convex corner compensation

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