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新型凹槽栅极应变Ge NMOS器件设计与特性研究
随着微电子技术的发展,晶体管的特征尺寸越来越小,集成电路的规模也越来越大,采用传统的等比例缩小原则提升集成电路性能的方法越......
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应变Ge
NMOS
凹槽栅极
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