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微坑阵列模具掩膜电化学刻蚀研究
随着MEMS技术的快速发展,细胞生物学、水环境污染分析、蛋白质分离等领域对微流控芯片的需求愈加强烈,同时,与金属模具制造技术相......
学位
微流控芯片
掩膜电化学刻蚀
微坑阵列模具
凹槽模具
均匀性
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