分步碳化相关论文
本文采用触媒CVD方法，在单晶Si和石英衬底上制备出纳米立方SiC(β-SiC)薄膜。通过控制参数，在较低的衬底温度下成功获得出(111)择优......
SiC 具有禁带宽度大、击穿电场高、热导率大、电子饱和漂移速度高、介电常数小、抗辐射能力强、良好的化学稳定性等独特的特性,使......
主要介绍了一种分步碳化变换气制碱工艺,它用分步碳化塔完成碳化过程,利用碳化塔中部高温取出液显热增量的方式移走碳化反应热,通......
