分步重复投影光刻机相关硕士博士期刊学术论文 - 搜论网

分步重复投影光刻机相关论文

0.8~1μm分步重复投影光刻机主要机构控制系统研制

传输片、预对准、调平及预讯焦系统是分步重复投影光刻机的重要组成部分，其精度和运行可靠对分步重复投影光刻机的整机性能指标将产......

期刊

传输片调平分步重复投影光刻机机构控制系统 Wafer transporting Pre-aligning Levelling Pre-focusing M

IC制造工艺与光刻对准特性关系的研究

本文主要针对光刻对准特性,从单项工艺和工艺集成的角度,分析了影响光刻对准的各个主要因素,主要包括对准标记、工艺层、隔离技术......

学位

光刻对准工艺层集成电路光刻工艺隔离技术分步重复投影光刻机套刻套刻误差

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