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制动电压相关论文

一种高制动效率大角度硅扭转微镜MEMS光开关的设计

提出了一种利用静电力制动扭转梁带动微镜旋转，从而实现二维开关功能的MEMS光开关．使用ANSYS和COVENTOR软件对器件结构进行了模态、......

期刊

MEMS光开关扭转梁微镜制动电压开关时间 MEMS optical switch torsion beam micro mirror drive vol

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