剖面透射电镜相关硕士博士期刊学术论文

在结合低剂量注氧隔离（SIMOX）技术和键合技术的基础上,研究了制备薄膜（薄顶层硅膜）厚埋层SOI材料的新技术——注氧键合技术.采用该新技......