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力电耦合方法相关论文

空气阻尼对扭臂式静电驱动结构pull-in电压的影响

基于扭臂式静电驱动结构的基本模型,在忽略和考虑空气阻尼作用的两种情况下,分别采用能量法和力电耦合分析方法得到扭臂式静电驱动......

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pull-in 静电驱动阻尼作用扭臂式静电驱动能量法力电耦合方法 pull-in电压空气阻尼 pull 上下电极

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