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功能性微结构相关论文
超快激光光束整形原理与方法及其在功能性微结构制造中的应用
随着功能性微结构的制造品质要求不断推向新的极端,超快激光微纳制造迎来了新的挑战,如更高的加工效率、跨尺度加工、选择性加工及......
期刊
激光光学
超快激光
光束整形
功能性微结构
高效制造
介电微球诱导激光—化学复合法制备单晶硅表面功能性微结构的研究
作为一种重要的半导体材料,硅具有储量丰富、价格低廉、热性能与机械性能优良、易于生长等优点。目前,硅材料仍是电子信息产业最主......
学位
单晶硅
准分子激光
皮秒激光
功能性微结构
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