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用于MOCVD的金属有机Ba源的制备及性质研究
金属有机化学气相沉积法(MOCVD)能够在长的柔性金属基带上连续、快速、均匀沉积YBa2Cu3O7-δ(YBCO)薄膜,因而极具开发价值.MOCVD制......
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MOCVD
Ba
金属有机源
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高温超导带材
蒸发特性
制备成本
戊胺
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