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单晶氟化钙相关论文
氟化钙纳米划痕装置设计及脆塑切削机理研究
氟化钙材料因其优异的光学性能成为不可替代的光刻系统透镜、红外窗口材料,而传统加工难以获得高质量表面。为获得高质量氟化钙表......
学位
快速刀具伺服
纳米划痕
局域热辅助
单晶氟化钙
脆塑转变
面向化学机械抛光的单晶氟化钙微观去除机理研究
单晶氟化钙材料具有极高的极紫外光透过率、激光损伤阈值和低折射率,是极紫外光刻系统不可或缺的透镜材料之一。随着193 nm波长的......
学位
机械去除
摩擦化学
环境水分
pH值
单晶氟化钙
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