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阳极腐蚀条件及单晶硅类型对多孔硅光致发光性能的影响
研究了阳极腐蚀条件及单晶硅的导电类型和掺杂原子浓度等多多孔硅微结构与室温可见区光致发光性能的影响。结果表明,延长腐蚀时间、......
期刊
多孔硅
阳极腐蚀条件
光致发光
单晶硅类型
porous siliconanodization conditionsmicrostructurephotolum
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