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单片晶圆兆声清洗的仿真模型研究
通过研究单片晶圆兆声清洗过程中兆声头在晶圆表面的运动轨迹和能量积累过程,构建了单晶圆清洗的兆声能量分布和颗粒去除过程的数......
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单片晶圆
兆声清洗
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