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近年来半导体晶圆厂随著新世代制程技术演变,产品由8吋晶圆演变成12吋晶圆,生产厂房面积也越来越大,相对生产厂房耗能也提高。半导......
半导体工业作为新兴的高科技产业,因其生产过程和制造工艺的需要,对于生产支持条件的依赖程度相当高,车间自动化生产线的正常与否......
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