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压电复合悬臂梁相关论文
压电复合悬臂梁非线性模型及求解
基于功能材料的复合悬臂梁涉及多物理场耦合,其本构关系的非线性影响悬臂梁的输出及控制精度,采用Helmholtz-Gibbs自由能关系建立......
期刊
压电复合悬臂梁
自由能模型
Boltzmann原理
三次B样条
用于扫描刻蚀加工的特种悬臂梁探针关键技术研究
随着微纳米技术的发展,多品种、小批量的微纳米器件的加工技术得到广泛的应用。其中薄膜刻蚀技术是保证微纳米器件制作质量的关键......
学位
扫描刻蚀加工
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