压电微马达相关论文
研究了一种成本低廉、结构简单的直径Ф2mm的摆头式棒状压电微马达。文中详细阐述了微马达的驱动机理、制造工艺及部分微马达的工......
本文基于接触式压电马达的这些问题,提出了一种新型的以空气为媒介的圆盘型非接触式压电微马达。主要研究基于行波驱动的圆盘型非接......
提出一种低成本、结构简单,直径为¢1.8mm的摆头式棒状压电微马达。阐述了压电微马达的驱动机理、部分制作工艺及工作特性。该压电微......
研制了一种非接触压电微马达,通过阻抗分析仪对定子进行扫频测试,确定其共振频率,并且详细介绍了SU-8胶转子制作的工艺流程.利用转......
铁电材料在微电子技术、光电子技术和集成光学等多个领域中具有极为重要的应用价值.本文简要介绍了铁电材料及其在MEMS器件方面的......
研制高性能、微体积的微型马达将极大地促进微机械电子系统的发展.给出了一种结构简单、易于微型化的压电致动马达.利用振动学理论......
压电微马达是微型机械领域中的一个崭新课题,本文从动力学角度对压电微马达进行有限元分析,得出固有频率和定子表面切应力场等重要的......
本文在压电微马达动力学基本原理的基础上,运用C语言编写了其动力学仿真程序,进行了压电微马达的动力学模拟。其次,本文提出了压电微......
提出了一种基于四区和八区2种激振方式的新型非接触压电微马达,并进行了振动模态的有限元数值模拟.利用ANSYS有限元软件对定子进行......
本文在压电微马达运动学基本原理的基础上,运用C语言编制了压电微马达运动学分析程序,进行了压电微马达运动学模拟仿真的研究,得出一些......