压电陶瓷扫描器相关论文
多探针并行原子力显微镜在超高密度信息存储、纳米加工、大范围形貌检测和计量等方面有潜在的应用前景.多探针并行可以提高纳米加......
扫描近场光学显微镜(SNOM)是基于非辐射场的产生和探测,能够实现超衍射极限分辨率的光学成像.但纳米精度的压电陶瓷扫描器的非线性......
针对扫描探针显微镜的压电扫描器提出一种非线性校正方法。利用双频激光干涉仪对压电扫描管的位移-电压曲线进行测量，设计非线性校......
