压电MEMS谐振器相关硕士博士期刊学术论文

本文介绍了氮化铝兰姆波MEMS谐振器以及基于该谐振器的带通滤波器、传感器的设计与制造。氮化铝兰姆波MEMS谐振器是一种新型压电谐......