压阻检测技术相关论文
纳机电系统技术(NEMS)是微机电技术(MEMS)的发展，通过利用纳米结构的表面效应、尺度效应等可以实现新型器件，以提升现有器件的性能。......
针对微操作过程中对微力觉信号的需求,以压阻检测技术为基础结合MEMS加工工艺,设计了一种用于微操作的三维力传感器,建立传感器的......
