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基于低温原子层沉积的钙钛矿太阳能电池薄膜封装
原子层沉积是一种基于气相前驱体与衬底表面基团间化学反应的薄膜制备技术,其前驱体交替通入的生长方式使得产物以原子级别的厚度......
学位
低温原子层沉积
等离子增强原子层沉积
原位石英晶振
原位质谱仪
分子层沉积
位阻效应
薄膜封装
钙钛矿电池
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