原子層沉積技術相关硕士博士期刊学术论文

此研究利用陽極處理合成厚度約570 nm、內徑約60～70 nm 之非晶二氧化鈦奈米管陣列，再以原子層沉積技術填滿奈米管陣列製備二氧化鈦-......