双层微梁相关论文
微机械谐振器是在共振频率下振动的微机电典型器件。微机械谐振器具有高精度、低延迟、大动态范围等优点。由于兼容集成电路制造工......
微谐振器是MEMS器件类型之一,常用于生物医学、航空宇航、通讯信息等领域。品质因数（Quality factor）是评价微谐振器性能的关键参数,......
热弹性阻尼是热弹性体内部固有的能量损耗机制,对微谐振器的品质因数有重要影响.针对弯曲振动的具有中空结构的双层圆截面微梁,提......
