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双层线圈相关论文
MEMS平面线圈电镀制备方法研究
通过提高微型线圈匝数不仅可以提高微型电磁能量采集器的俘能效率,还能够提高传感器的电学性能.本文基于微机电系统(MEMS)工艺,对......
期刊
微机电系统
电镀
双层线圈
电磁能量采集器
可控制备
基于电镀铜平面弹簧的微型电磁式振动能量采集器
采用微机电系统加工技术制作出一种结构新颖的微型电磁式振动能量采集器,它可以把周围环境中的振动能转换为电能。整个结构主要由......
期刊
振动能量采集器
微机电系统
电磁式
铜平面弹簧
双层线圈
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