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双层辉光反应溅射相关论文
热氧化生成TiO2及氮掺杂TiO2薄膜的研究
不同的制备技术和工艺条件会影响所生成的TiO2薄膜的成分结构,进而影响其使用性能。本文利用热氧化法和氮掺杂热氧化法在纯钛表面制......
学位
热氧化
双层辉光反应溅射
二氧化钛
纯钛
氮掺杂
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