双嵌入(双大马士革)工艺相关硕士博士期刊学术论文 - 搜论网

双嵌入(双大马士革)工艺相关论文

VLSI芯片制备中的多层互连新技术

在简要介绍多层互连材料的基础上，论述了若干种IC芯片制备中的多层互连技术，包括“Cu线＋低k双大马士革”多层互连结构、平坦化技术、C......

期刊

集成电路铜互连低K介质双嵌入(双大马士革)工艺淀积化学机械抛光 IC Cu interconnect low-k dielectric dual

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