双栅氧工艺相关论文
双栅氧工艺(dual gate oxide)在高压CMOS流程中得到了广泛的应用,此项工艺可以把薄栅氧器件和厚栅氧器件集成在同一个芯片上.文章......
提出了一种新的双栅氧（dualgateoxide，DGO）工艺，有效提高了薄栅氧器件与厚栅氧器件的工艺兼容性，同时提高了高低压器件性能的稳定性．在中......
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