双端音叉谐振器相关论文
设计并制作了一个硅微机械双终端音叉谐振器,主要工作有:1.研究硅微机械双终端音叉式谐振器的结构与谐振频率的关系并设计了一个双......
给出了硅微机械谐振陀螺仪的结构,介绍了硅微机械谐振陀螺仪的工作原理,详细推导并给出了陀螺仪的输出频率和标度因数非线性的计算......
介绍了硅微机械谐振陀螺仪的工作原理,给出了陀螺仪标度因数的表达式,分析了陀螺仪驱动模态的最大振幅、陀螺质量块结构参数、杠杆......
提出了一种双质量块调谐输出式硅MEMS陀螺仪。采用两块反相、同频、等幅振动质量块作为敏感单元,通过测量谐振器谐振频率变化来计......
介绍了硅微机械谐振式陀螺仪的工作原理，设计了一种新型微机械谐振式陀螺，并用有限元方法进行了仿真，制造了一批样机，进行了初步的驱动......
