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双面平坦化相关论文
超薄钛酸锶电瓷基片精密磨粒加工工艺研究
钛酸锶电子陶瓷由于独有的高介电常数成为高性能电子元器件和微波电路基板的核心材料,随着应用需求的发展,需要钛酸锶电子陶瓷基片尺......
学位
钛酸锶电瓷基片
双面平坦化
真空吸附夹持
单面抛光
亚表面损伤
精密磨粒加工
碲镉汞材料双面平坦化工艺研究
通过对30mm×25mm尺寸的碲镉汞材料和器件进行双面平坦化工艺,使其平面度达到与Si读出电路互连要小于2μm的要求,提高了MW1280×10......
期刊
碲镉汞
双面平坦化
平面度
倒装互连
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