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无基膜高深宽比双面集成微结构元件的制作
基于双面集成微结构薄片元件在集成光学成像、光束整形等方面的应用日益普及,针对其中一些一体化、高深宽比结构在制作方面的难点......
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双面集成
无基膜
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