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双靶共沉系统相关论文
双靶共沉积镀制复合膜的成分均匀性研究
随着镀膜技术的发展,镀制由多种元素成分组成的复合膜系已经被广泛采用,并且有越来越多的发展趋势。因为由多种元素成分组成的复合......
学位
真空镀膜
双靶共沉系统
复合薄膜
成分均匀性
膜厚均匀性
复合粉体材料
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