双靶磁控反应溅射相关硕士博士期刊学术论文 - 搜论网

双靶磁控反应溅射相关论文

集成电路铜互连中钽硅氮扩散阻挡层的制备及其阻挡特性研究

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双靶磁控反应溅射 Ta-Si-N纳米薄膜表面形貌电学特性扩散阻挡特性

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