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SiC肖特基势垒二极管的反向特性
在n型4H—SiC衬底上的n型同质外延层的Si面制备了纵向肖特基势垒二极管(SBD),研究了场板、场限环及其复合结构等不同终端截止结构对于......
期刊
碳化硅
肖特基势垒二极管
反向阻断电压
反向泄漏电流
场限环
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离子注入
SiC Schottky barrier diodes (SBD) reverse
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