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反应性溅射相关论文

提高DC平面磁控溅射中靶材利用率的新方法

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金属Zn靶 ZNO压电薄膜反应性溅射靶材利用率 metal Zn target piezoelectric ZnO thin film reactive

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磁控管反应性溅射二氧化硅薄膜

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