可变阻尼系统相关硕士博士期刊学术论文 - 搜论网

可变阻尼系统相关论文

微电子制芯领域中磁悬浮精密定位平台的研究

论文系统地综述了国内外微电子技术的发展概况、发展趋势以及微电子产业在世界经济增长中具有的重大影响，概述了光刻技术和光刻设备......

学位

微电子光刻机定位平台磁悬浮直线电机无接触驱动磁路 PID伺服控制可变阻尼系统非线性系统耦合解耦控制计算机仿真原理样机试验

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