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含氟酰基沉积物相关论文
含氟酰基沉积物气化反应原料利用率提高工艺研究
为提高旋转圆筒内含氟酰基沉积物气化反应中三氟化溴(BrF3)的利用率,本文设计了静态反应极限实验、工作条件优化实验以及多级回收......
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含氟酰基沉积物
气化反应
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